Учебная дисциплина «Физика и диагностика поверхностиполупроводников» предназначена для студентов VI-го курса Физического факультета специализации Физика полупроводников и диэлектриков и Физическая электроника. Главной целью данного курса является формирование у студентов знаний основных методов исследования поверхности твердых тел, физики поверхности полупроводников и физики структур металл - диэлектрик - полупроводник.Основная задача обучаемых состоит в изучении физических принципов иссле- дования поверхности четком усвоении и понимании физического смысла процессов протекающих на поверхности полупроводников и границах раздела полупроводник - твердое тело. Данный курс базируется на знаниях, полученных студентами в процессе изучения курсов «Физика твердого тела» и «Физика полупроводников». Курс включает в себя проведение лекций.
Содержание лекционного курса (45 ч.): |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Учебно-методические материалы по дисциплине:
Основная литература:
1. Ф. Бехштедт, Р.Эндерлайн Поверхности и границы раздела
полупроводников
2. Д.Вудлаф, Т. Делчар Современные методы исследования
поверхности
3. С.Ф. Борисов Физика поверхности
4. "Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской
фотоэлектронной
спектроскопии" под редакцией Д.Бриггса
5. Д.Вудлаф, Т. Делгар "Современные методы исследования
поверхности".
Дополнительная литература:
1. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной
спектроскопии” под ред. Д.Бриггса
2.Черепин «Физические методы исследования поверхности твердых тел»
Методические пособия:
1.Обучающая программа для ЭВМ по курсу «Физика и диагностика поверхности полупро-водников» (разработано автором).