Эффект поля – это изменение концентрации свободных носителей (а, следовательно, проводимости) в приповерхностном слое полупроводника под воздействием внешнего электрического поля.

 

 

    О явлении

    Обогащение и обеднение

    Глубина проникновения поля

    ОПЗ

    Электростатический потенциал

    Изгиб энергетических зон

    Применение (транзисторы)

 

 

Рассмотрим, как будет меняться концентрация свободных носителей в приповерхностной области полупроводника, когда вблизи этой поверхности создается электрическое поле. Для примера будем считать, что электрическое поле создается заряженной металлической плоскостью с поверхностной плотностью зарядов σ. Поскольку силовые линии электрического поля должны быть замкнуты, то на поверхности полупроводника возникает равный по величине, но противоположный по знаку электрический заряд. В зависимости от знака заряда на металлической плоскости (положительной или отрицательной) экранирующий это поле заряд в приповерхностной области полупроводника также будет различных знаков. На рисунке 1 приведены ситуации положительно и отрицательно заряженной плоскости. *

 

Рис. №1

 

Случай, когда в приповерхностной области возрастает концентрация свободных носителей, носит название обогащение, а когда в приповерхностной области уменьшается концентрация свободных носителей - обеднение. *

 

Если концентрация доноров в объеме полупроводника N_D=10¹⁵см^-3, то среднее расстояние между свободными электронами (и ионизированными донорами) в квазинейтральном объеме полупроводника будет равно а = N_D^-1/3 = 10^-5 см = 1000 Å. При поверхностной плотности заряда = 10¹² см^-2 толщина слоя пространственного заряда ионизованных доноров будет равна 10¹¹ / 10¹⁵ = 10^-4 см или 1 микрон. Отсюда следует, что электрическое поле в полупроводник может проникать на значительные расстояния. *

 

При наличии внешнего поля приповерхностная область в полупроводнике не будет электронейтральной. Заряд, возникший в этой области, обычно называется пространственным зарядом, а сама область - областью пространственного заряда (ОПЗ). Наличие электрического поля E(z) в ОПЗ меняет величину потенциальной энергии электрона. Если поле направлено от поверхности вглубь полупроводника, то электроны в этом случае будут иметь минимальную энергию у поверхности, что соответствует наличию потенциальной ямы для электронов там же.

Изменение потенциальной энергии электронов:

где U(∞)-потенциальная энергия электронов в квазинейтральном объеме полупроводника. Поскольку на дне зоны проводимости кинетическая энергия электронов равна нулю (E = ћ²k²/2m^*), то изменение потенциальной энергии по координате должно точно так же изменить энергетическое положение дна зоны проводимости E_c, (а соответственно и вершины валентной зоны E_v.) На зонных диаграммах это выражается в изгибе энергетических зон. *

 

Величина разности потенциалов между квазинейтральным объемом и произвольной точкой ОПЗ получила название электростатического потенциала:

Значение электростатического потенциала на поверхности полупроводника называется поверхностным потенциалом и обозначается символом ψ_s. *

 

Знак поверхностного потенциала ψ_s соответствует знаку заряда на металлическом электроде, вызывающего изгиб энергетических зон.

ψ_s > 0, зоны изогнуты вниз, ψ_s < 0, зоны изогнуты вверх (рис. №2).

Рис. №2 Энергетические зоны на поверхности полупроводника n-типа:
а) в случае обеднения; б) в случае обогащения *

 

 

 

Для того чтобы управлять током в полупроводнике при по­стоянном электрическом поле, нужно менять либо удельную проводимость полупроводникового слоя, либо его площадь. На практике используется и тот, и другой способ, причем в основе обоих способов лежит эффект поля. Поэтому униполярные транзисторы обычно называют полевыми транзисторами. Проводящий слой, по которому проходит рабочий ток, называ­ют каналом. Отсюда еще одно название такого класса транзи­сторов ­­­­­— кана­л­­ьные транзисторы.

Каналы могут быть приповерхностными и объемными. При­поверхностные каналы представляют собой либо обогащенные слои, обусловленные наличием донорных примесей в диэлект­рике, либо инверсионные слои, образующиеся под действием внешнего поля. Объемные же каналы представляют собой уча­стки однородного полупроводника, отделенные от поверхности обедненным слоем. Оба варианта каналов, а также способы их использования показаны на рис. №3.

Рис №3. Принцип исполь­зования каналов в унипо­лярных транзисторах: а – приповерхностный n-канал; б – объемный р-канал; 1  — обедненный слой

*